分析范围0~50微米
分析误差5%
分析时间30秒
重复性0.1%
电源电压220V
EDX2000A能量色散X荧光光谱仪(全自动微区膜厚测试仪)对平面、凹凸、拐角、弧面等简单及复杂形态的样品进行快速对焦分析,满足半导体、芯片及PCB等行业的非接触微区镀层厚度测试需求。通过自动化的X轴Y轴Z轴的三维移动,双激光定位和保护系统。
应用领域
电镀行业、电子通讯、新能源、五金卫浴、电器设备
汽车制造、磁性材料、贵金属电镀、高校及科研院所等
X射线测厚仪使用而实用的正比计数盒和电制冷探测器,以实在的价格定位满足镀层厚度测量的要求,且全新的更具有现代感的外形、结构及色彩设计,使仪器操作更人性化、更方便。
2、性能优势
长效稳定X铜光管
半导体硅片电制冷系统,摒弃液氮制冷
采用天瑞仪器产品—信噪比增强器(SNE)
内置高清晰摄像头,方便用户随时观测样品
脉冲处理器,数据处理快速准确
手动开关样品腔,操作安全方便
三重安全保护模式
整体钢架结构、外型高贵时尚
Fp软件,无标准样品时亦可测量
3、技术指标
分析范围: Ti-U,可分析3层15个元素
分析厚度:一般0.05-30um(不同元素厚度有所不同)
分析精度:多次测量稳定性可达1%.
工作电压:AC 110V/220V(建议配置交流净化稳压电源)
测量时间:40秒(可根据实际情况调整)
探测器分辨率:(160±5)eV
光管高压:5-50kV
管流:50μA-1000μA
环境温度:15℃-30℃
环境湿度:30%-70%
准直器:配置不同直径准直孔,小孔径φ0.2mm
基于X-光荧光的涂层厚度和材料分析是业内广泛接受认可的分析方法,提供易于使用、快速和无损的分析,几乎不需要样本制备,能够分析元素周期表上从13Al 到92U 的固体或液体样品。
X射线测厚仪具有环保绿色安全的特性,不但还更环保而且对于人和环境的更小。X射线测厚仪利用X射线穿透被测材料时,X射线的强度的变化与材料的厚度相关的特性,从而测定材料的厚度,是一种非接触式的动态计量仪器。它以PLC和工业计算机为核心,采集计算数据并输出目标偏差值给轧机厚度控制系统,已达到要求的轧制厚度.测量元素:原子序数22(Ti)~83(Bi)
检测器:比例计数管
X射线管:管电压:50kV 管电流:1
准直器:4种(Φ0.05mm、Φ0.1mm、Φ0.2mm、Φ0.025×0.4mm)
样品观察:CCD摄像头(可进行广域观察)
X-Ray Station:电脑、19英寸液晶显示器
膜厚测量软件:薄膜EP法、标准曲线法
测量功能:自动测量、中心搜索
定性功能:KL标记、比较表示
使用电源:220V/7.5A
特长:
1.自动对焦功能 自动接近功能
在样品台上放置各种高度的样品时,只要高低差在80mm范围内,即可在3秒内自动对焦被测样品。由此进一步提高定位操作的便捷性。
●自动对焦功能 简便的摄像头对焦
●自动接近功能 适合位置的对焦
测量元素:原子序数22(Ti)~83(Bi)
检测器:比例计数管
X射线管:管电压:50kV 管电流:1
准直器:4种(Φ0.05mm、Φ0.1mm、Φ0.2mm、Φ0.025×0.4mm)
样品观察:CCD摄像头(可进行广域观察)
X-Ray Station:电脑、19英寸液晶显示器
膜厚测量软件:薄膜EP法、标准曲线法
测量功能:自动测量、中心搜索
定性功能:KL标记、比较表示
使用电源:220V/7.5A
高分辨率 SDD
元素范围: 铝 - 铀
样品舱设计:开槽式
XY 轴样品台选择:固定台、自动台
X荧光测厚仪采用X荧光分析技术,可以测定各种金属镀层的厚度,包括单层、双层、多层及合金镀层等,它也可以进行电镀液的成分浓度测定。它能检测出常见金属镀层厚度,无需样品预处理;分析时间短,仅为数十秒;即可分析出各金属镀层的厚度,分析测量动态范围宽,可从0.01M到60M。它是一种能谱分析方法,属于物理分析方法。当镀层样品在受到X射线照射时,其中所含镀层或基底材料元素的原子受到激发后会发射出各自的特征X射线,探测器探测到这些特征X射线后,将其光转变为模拟;经过模拟数字变换器将模拟转换为数字并送入计算机进行处理;计算机的应用软件根据获取的谱峰信息,通过数据处理测定出被测镀层样品中所含元素的种类及各元素的镀层厚度。
我公司集中了国内的X荧光分析﹑电子技术等行业技术研究开发及生产技术人员,依靠多年的科学研究,总结多年的现场应用实践经验,结合的特色,开发生产出的X荧光测厚仪具有快速、准确、简便、实用等优点。
我公司新研制的X荧光测厚仪,广泛用于用于镀层厚度的测量、电镀液厚度的测量。
1. 仪器特点:
Ø 同时分析元素周期表中由钛(Ti)以上元素的镀层厚度;
Ø 可以分析单层、双层、三层等金属及合金镀层的厚度;
Ø 无需复杂的样品预处理过程;分析测量动态范围宽,可从0.01M到60M ;
Ø 采用的探测器技术及的处理线路,处理速度快,精度高,稳定可靠;
Ø 采用正高压激发的微聚焦的X光管,激发与测试条件采用计算机软件数码控制与显示;
Ø 采用彩色摄像头,准确观察样品并可拍照保存样品图像;
Ø 采用电动控制样品平台,可以进行X-Y-Z的,准确方便;
Ø 采用双激光对焦系统,准确定位测量位置;
Ø 度高,稳定性好,故障率低;
Ø 采用多层屏蔽保护,安全性可靠;
Ø WINDOWS XP 中文应用软件,特的分析方法,完备强大的功能,操作简单,使用方便, 分析结果存入标准ACCESS数据库;
2、仪器的技术特性
2.1 X-Y-Z样品平台装置
X荧光测厚仪的X-Y-Z样品平台装置具有可容纳各种形态被测样品的样品室。
样品种类:各种形状的镀层样品,及电镀液体样品。
平台:X-Y-Z采用电动方式,实用方便。
天瑞仪器在X射线荧光光谱仪行业屡创辉煌,譬如,生产的食品重金属快速检测仪EDX 3200S PLUS X,采用了能量色散X射线荧光光谱技术实现食品中微量重金属有害元素的快速检测,操作简单,自动化程度高,可同时检测24个样本;在多年同时式波长色散X射线荧光光谱仪的研发和产品化基础上,在国家重大科学仪器设备开发专项资金支持下,融合的科技创新和发明,推出了国内台商业化顺序式波长色散X射线荧光光谱仪——WDX 4000,为土壤重金属检测提供新支持;成功研发EXPLORER手持式能量色散X射线荧光光谱仪,促进了仪器的小型化与便携化等。
今后,天瑞仪器将继续以“行业”为目标,不断提升技术水平,使国产仪器媲美国外,走向国际。同时,天瑞仪器着眼于日益严峻的环保形势,积极调整产品结构,致力于环保解决方案的提供,守护碧水蓝天。与时俱进开拓创新,用科学技术服务于国家,服务于,是每
天瑞仪器股份有限公司集30多年X荧光膜厚测量技术,研发的一款全新上照式X射线荧光分析仪,该款仪器配置嵌入集成式多准直孔、滤光片自动切换装置和双摄像头,不仅能展现测试部位的细节,也能呈现出高清广角视野;自动化的X/Y/Z轴的三维移动,实现对平面、凹凸、拐角、弧面等形态的样品进行快速对焦分析。能地满足半导体、芯片及PCB等行业的非接触微区镀层厚度测试需求。
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